枚葉式処理システム


半導体製造の洗浄装置のうち、一枚ずつ処理する仕組み

概要
半導体製造装置には多数のウエハーを一括処理する「バッチ式」と「枚葉式」がある
※ウエハー(wafer)= ICが乗る円形の薄い板

枚葉式処理システムに強い会社
Kokusai Electric
東京エレクトロン
日本圧着端子製造(JST Manufacturing)
CREENセミコンダクターソリューションズ

広辞苑第七版に「枚葉」という言葉は収録されていない

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